點(diǎn)擊下載單頁
熔融石英、硅
8"晶圓級
二元、8階、16階
0.5μm的最小特征尺寸
< 70nm套刻精度
衍射效率高達(dá)98%
190nm至5μm波長范圍
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體制程、光束整形、激光光學(xué)、光場勻化器/擴(kuò)散器、相位板、三維傳感、點(diǎn)陣發(fā)生器
技術(shù)指標(biāo)
基于硅或熔融石英材質(zhì)的衍射微納光學(xué)元器件，2階至16階衍射元件設(shè)計，最小特征尺寸在500 nm 至1 μm，套刻誤差小于70 nm，效率最高可達(dá)96%。可應(yīng)用于泛半導(dǎo)體光場勻化器、高功率激光器光束整形系統(tǒng)、光纖互聯(lián)渦旋透鏡、點(diǎn)陣發(fā)生器和勻光擴(kuò)散器等。
衍射微納光學(xué)元器件亦可用作光場勻化器和整形器，以克服折射微透鏡陣列在尺寸、重量或光斑形狀等方面的限制，能夠在單個元件中實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的光學(xué)功能。
|
技術(shù)指標(biāo) |
|
|
材質(zhì) |
熔融石英（各種等級）和硅 |
|
結(jié)構(gòu)組成 |
2階（二元）至16階 |
|
精度 |
典型套刻誤差 < 70 nm |
|
最小特征尺寸 |
500 nm 至1 μm ，根據(jù)階躍高度和刻蝕深度而定 |
|
效率 |
高達(dá) 96 % |
應(yīng)用領(lǐng)域
聯(lián)系我們
如需了解更多有關(guān)炬光科技產(chǎn)品和服務(wù)的信息，歡迎隨時聯(lián)系我們。聯(lián)系炬光科技
加入我們
我們關(guān)注每一位員工，從工作、生活、健康等多方面為員工提供具有競爭力的福利保障。了解更多
股票代碼 688167 
產(chǎn)品與服務(wù)
原材料 半導(dǎo)體激光元器件 激光光學(xué)元器件 解決方案 技術(shù)服務(wù) 在線選購應(yīng)用領(lǐng)域
光通信 消費(fèi)電子 泛半導(dǎo)體制程 汽車應(yīng)用 醫(yī)療健康 工業(yè)應(yīng)用 科學(xué)研究核心技術(shù)
核心技術(shù) 知識產(chǎn)權(quán) 技術(shù)講座 技術(shù)文章 視頻合集投資者關(guān)系
公司股票 投資者問答 公司公告 中國投資者網(wǎng)新聞活動
新聞 活動支持與下載
發(fā)貨測試數(shù)據(jù) 公司政策 單頁下載 聯(lián)系表格關(guān)于我們
公司概況 全球運(yùn)營 質(zhì)量管理 社會責(zé)任 卓越運(yùn)營 供應(yīng)鏈 投訴監(jiān)督
始終處于活動狀態(tài)
