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首頁 產品中心 泛半導體制程應用解決方案 DLight S

DLight S

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半導體集成電路晶圓退火系統

極細線光斑、超高能量密度

模塊化設計、易于維護

完善的安全監控保護系統

適配多種外置傳感器

適用于多種半導體晶圓退火工藝需求

 DLight S

技術指標

產品型號 產品代碼 輸出功率 光斑尺寸 功率穩定性 光斑長度均勻性 光斑寬度穩定性 下載
FL-DLight-S1500A (Typical Customization) 1500 W 12 mm (top-hat) x 70 μm (gaussian) > 98 % ≥ 95 % ± 1 μm
* 典型定制方案。定制產品可能交期較長。
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